阻抗分析儀測量頻率:1MHz~ 1.3ghz;測量時間:最快0.5ms(模擬測量時間);測量值偏差:0.07%(測量頻率1GHz的代表值)。阻抗測試等價于黑箱模型，可以等價于不同形式的電路。

并聯電阻為并聯模型中的等效并聯電阻，串聯電阻為串聯模型中的等效串聯電阻。壓電器件阻抗測量是正確使用器件的前提。對于壓電器件，主要參數可以通過阻抗分析儀得到。阻抗分析儀能在阻抗范圍和寬頻率范圍內準確測量，它利用物體具有不同的導電效果，在物體表面添加固定的低電平電流，通過阻抗來計算物體的各種器件、設備參數和性能的優缺點。用頻率掃描法給出了散射參數的幅頻和相頻特性。自動網絡分析儀可以逐點進行誤差分析。